特許
J-GLOBAL ID：200903029751970475
プラズマ滅菌反応器を排気するための方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安達 光雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-107449
公開番号（公開出願番号）：特開2000-316954
出願日： 2000年04月10日
公開日（公表日）： 2000年11月21日
要約：
【要約】【課題】 低圧プラズマにより少なくとも一つの対象物を滅菌するための反応器を大気圧からプラズマ放電圧まで費用効果的かつ容易に排気するための方法を提供する。【解決手段】 少なくとも二つの別個の、継続的排気段階が設けられる。第一排気段階及び所望により更なる排気段階において、反応器は段階的に中間減圧にもたらされ、最終排気段階において反応器はプラズマ放電圧まで排気される。各排気段階のために別個の減圧室を設けることが有利であり、そのそれぞれに反応器が連結されている。これがガスの全量が一つの単一ポンプまたは単一のポンプ組合せを通して運搬されることを必要としないという利益をもたらす。
請求項（抜粋）：
反応器を大気圧からプラズマ放電圧まで排気するための方法であって、その方法で少なくとも一つの対象物が低圧プラズマにより滅菌されるものにおいて、少なくとも二つの継続した、しかし別個の、排気段階が設けられており、それにより反応器が第一排気段階において中間圧まで排気され、最終排気段階において反応器が少なくともプラズマ放電圧まで排気されることを特徴とする方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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