特許

J-GLOBAL ID：200903029752710183

ガスセンサ

発明者： 江田 和夫
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (2件)： 西川 惠清 ,  森 厚夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-117495
公開番号（公開出願番号）：特開2004-325142
出願日： 2003年04月22日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：

【課題】検出対象ガスを周囲温度によらず高精度に検出することが可能であり且つ製品間の特性ばらつきが小さく再現性の高い小型のガスセンサを提供する。【解決手段】一対の電極4a,4bと電極4a,4b間のカーボンナノチューブからなる感ガス用抵抗体4cとで構成される感ガス用抵抗素子4、一対の電極5a,5bと電極5a,5b間のカーボンナノチューブからなる基準用抵抗体4cとで構成される基準用抵抗素子5が基板1の一表面側に形成されている。基準用抵抗素子5を覆うパッシベーション膜6には感ガス用抵抗体4cを露出させる露出窓7が開孔されている。感ガス用抵抗素子4の一方の電極4aと基準用抵抗素子5の一方の電極5bとを接続する配線8と、感ガス用抵抗素子4の他方の電極4bに接続された配線8と、基準用抵抗素子5の他方の電極5aに接続された配線8とを備え、各配線8それぞれの一部がパッドを構成する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板の一表面側に露設され検出対象ガスの接触に応じて抵抗値が変化するカーボンナノチューブからなる感ガス用抵抗体が一対の電極間に設けられた感ガス用抵抗素子と、前記基板の前記一表面側に形成されパッシベーション膜により覆われたカーボンナノチューブからなる基準用抵抗体が一対の電極間に設けられた基準用抵抗素子と、前記基板の前記一表面側に形成され前記感ガス用抵抗素子と前記基準用抵抗素子とを直列接続した配線と、前記感ガス用抵抗素子と前記基準用抵抗素子との直列回路の両端および前記感ガス用抵抗素子と前記基準用抵抗素子との接続点それぞれに電気的に接続された3つのパッドとを備えることを特徴とするガスセンサ。

IPC (1件)：

G01N27/12

FI (2件)：

G01N27/12 B ,  G01N27/12 C

Fターム (25件)：

2G046AA05 ,  2G046AA10 ,  2G046AA11 ,  2G046AA12 ,  2G046AA13 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BB04 ,  2G046BC05 ,  2G046BC09 ,  2G046DC13 ,  2G046EA02 ,  2G046EA04 ,  2G046EA08 ,  2G046EA09 ,  2G046FB00 ,  2G046FE03 ,  2G046FE12 ,  2G046FE38 ,  4G146AA11 ,  4G146AD40 ,  4G146BA12 ,  4G146BC09 ,  4G146BC44