特許
J-GLOBAL ID:200903029758777700

光検出器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-181246
公開番号(公開出願番号):特開平5-029647
出願日: 1991年07月22日
公開日(公表日): 1993年02月05日
要約:
【要約】【目的】 赤外線ビジコン用の増倍型ターゲットを改良する。【構成】 本発明によれば、高抵抗のアバランシェ増倍層5の両面には互いに反対導電型の高ドープ層91,92が形成されてPIN構造とされ、P側に高抵抗層を挟んで更にP型層81が形成され、N側には別の高抵抗層を挟んで更にN型層82が形成されるので、印加電圧による電界の大部分はアバランシェ増倍層5に集中することになる。したがって、光生成によるキャリアが注入されると、低い印加電圧であってもアバランシェ増倍できる。
請求項(抜粋):
透明電極が形成された透明基板を検出光の入射側に有し、前記透明電極上に、前記検出光によってキャリアを生成する光吸収層と、この光吸収層から注入されたキャリアをアバランシェ増倍する増倍層とを含む積層構造を有する光検出器において、前記増倍層の一方の面は第1導電型の高ドープ層を介して一方の低ドープ層に接し、他方の面は第2導電型の高ドープ層を介して他方の低ドープ層に接し、前記一方の低ドープ層は第1導電型の別の高ドープ層に接し、前記他方の低ドープ層は第2導電型の別の高ドープ層に接していることを特徴とする光検出器。
IPC (2件):
H01L 31/107 ,  G01J 1/02

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