特許
J-GLOBAL ID：200903029769803908
プローブ顕微鏡装置および探針間距離測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-283415
公開番号（公開出願番号）：特開平7-134137
出願日： 1993年11月12日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：
【要約】【目的】 プローブ顕微鏡を取り付け取外す交換を行なうことなく、複数種の測定を行なうことができるプローブ顕微鏡装置の提供。【構成】 XYステージ2上には試料3が載置されている。又、ブリッジ4には光学顕微鏡5、CCDカメラ6、原子間力顕微鏡7および磁気力顕微鏡8が装架されている。原子間力顕微鏡7と磁気力顕微鏡8との間の距離は標準試料11を用いて予め測定され、記憶されている。試料3の目標個所を光学顕微鏡5の視野に捉えてXYステージ2により原子間力顕微鏡7に対向させ、形状を測定した後、XYステージ2を記憶されている距離だけ移動させて目標個所を磁気力顕微鏡8に対向させ、磁気特性を測定する。
請求項（抜粋）：
試料をX軸およびY軸方向に移動させるXYステージと、このXYステージの移動を高精度で測定する測定手段と、前記試料と対向する探針を有するプローブ顕微鏡とを備えたプローブ顕微鏡装置において、前記プローブ顕微鏡とは精度又は測定目的が異なる他の少なくとも1つのプローブ顕微鏡を設けるとともに、各プローブ顕微鏡の探針の相互の間隔の測定値を記憶する記憶手段を設けたことを特徴とするプローブ顕微鏡装置。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, G01N 27/72
, H01J 37/28
