特許

J-GLOBAL ID：200903029779768736

化学増幅型樹脂組成物

発明者： 漢那 慎一 ,  佐々木 知也
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (5件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  濱田 百合子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-076123
公開番号（公開出願番号）：特開2004-286845
出願日： 2003年03月19日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：

【課題】本発明の目的は、160nm以下、特にF2エキシマレーザー光(157nm)の露光光源の使用に好適な化学増幅型樹脂組成物を提供することであり、具体的には157nmの光源使用時に優れた感度及びラインエッジラフネス特性両立する化学増幅型樹脂組成物を提供する。【解決手段】活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する基を有すし、フッ素原子を含有する樹脂を含有することを特徴とする化学増幅型樹脂組成物。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する基を有する繰り返し単位(a)を有し、フッ素原子を含有する樹脂(A)を含む化学増幅型樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F7/039 ,  C08F12/30 ,  C08F20/38 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027

FI (5件)：

G03F7/039 601 ,  C08F12/30 ,  C08F20/38 ,  G03F7/004 503A ,  H01L21/30 502R

Fターム (24件)：

2H025AA01 ,  2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB14 ,  2H025CB15 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025FA17 ,  4J100AB07P ,  4J100AL08P ,  4J100BA55P ,  4J100BA58P ,  4J100BB07P ,  4J100BC43P ,  4J100DA61 ,  4J100JA37 ,  4J100JA38