特許
J-GLOBAL ID：200903029781348027

CTE-T曲線の可変調整可能なゼロ交叉を有するガラスセラミック製品

発明者：
イナ ミトラ

イナ ミトラ について


出願人/特許権者：
カール-ツァイス-スティフツング

カール-ツァイス-スティフツング について


代理人 (1件)： ▲吉▼田 繁喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-372566
公開番号（公開出願番号）：特開2003-267789
出願日： 2002年12月24日
公開日（公表日）： 2003年09月25日
要約：
【要約】【課題】 CTE-T曲線(CTE:熱膨張率)の規制されたゼロ交叉を有するガラスセラミックの製造方法、及び該方法を用いて製造されたガラスセラミック製品を提供することを目的とする。【解決手段】 -予備セラミック化されたガラスセラミック又はガラスセラミックの未処理体を準備する工程と、-予備セラミック化されたガラスセラミック又はガラスセラミックの未処理体を、セラミック化プログラムに従ってセラミック化し、それによってガラスセラミックのCTE-T曲線のゼロ交叉を調整する工程、ここでセラミック化プログラムの決定は、少なくとも1つのCTE-T曲線を決定する工程を含む、とを含む、適用温度TAの近傍TA±10°Cの温度範囲にCTE-T曲線のゼロ交叉が調整されるガラスセラミックの製造方法。セラミック化プログラムを決定するためにΔ1/I0-T曲線群が収集される。
請求項（抜粋）：
-予備セラミック化されたガラスセラミック又はガラスセラミックの未処理体を準備する工程と、-予備セラミック化されたガラスセラミック又はガラスセラミックの未処理体を、セラミック化プログラムに従ってセラミック化し、それによってガラスセラミックのCTE-T曲線のゼロ交叉を調整する工程、ここでセラミック化プログラムの決定は、少なくとも1つのCTE-T曲線を決定する工程を含む、とを含む、適用温度TAの近傍TA±10°Cの温度範囲にCTE-T曲線のゼロ交叉が調整されるガラスセラミックの製造方法。
IPC (3件)：
C04B 35/64 ,  G03F 1/14 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G03F 1/14 B ,  C04B 35/64 C ,  H01L 21/30 502 P ,  H01L 21/30 531 M
Fターム (4件)：
2H095BA10 ,  2H095BC27 ,  5F046GD05 ,  5F046GD06
引用特許：
審査官引用 (8件)
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