特許
J-GLOBAL ID：200903029781348493
2次電子像表示方法および走査電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-226849
公開番号（公開出願番号）：特開平6-076778
出願日： 1992年08月26日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：
【要約】【目的】 半導体デバイスの製造過程において作られたコンタクトホールなどの底部も鮮明に観察することができる2次電子像観察方法を実現する。【構成】 制御装置13は加速電圧制御ユニット2を制御し、加速電圧を順々に設定する。電子ビームEBの加速電圧を変化させながらトレンチが形成された試料部分で電子ビームをライン走査する。各走査に伴い発生した2次電子を検出し、検出信号を陰極線管12に供給すれば、画面の縦方向に異なった加速電圧の電子ビーム照射に基づく像が表示される。観察者はこの像を観察し、試料上の各部分ともにグレーで表示され、表面部分もトレンチの底部も像の観察が可能な加速電圧を制御装置13に指示し、その後の試料の所望領域の観察は、この加速電圧の電子ビームによって行うようにする。
請求項（抜粋）：
垂直方向に伸びる溝を有した試料に対して、水平方向に電子ビームを走査し、さらにその水平方向の走査位置を垂直方向にずらし、この電子ビームの走査に伴って試料から発生した2次電子を検出し、この検出信号を電子ビームの走査に同期した表示装置に供給し、2次電子像を表示すると共に、電子ビームの走査位置を垂直方向にずらす過程で電子ビームの加速電圧を変化させるようにした2次電子像表示方法。
IPC (2件)：
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