クリーンルーム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林清明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-334207
公開番号（公開出願番号）：特開平5-141730
出願日： 1991年11月22日
公開日（公表日）： 1993年06月08日
要約：

【要約】【目的】クリーンルームに付設される空調機の設置場所の減少及び室内循環気流の均一化を計る。【構成】クリーンルーム1の室の一側を下方に通気孔3を備えた仕切り壁2により作業室4と空調室5とに区分し、該空調室5内に空調機6を配置し、かつ該空調室5には排気ファン10を備え、該排気ファン10の吸引作用により前記作業室内からの空気を吸引し、上記作業室4の天板8に設けられるフィルタ9に供給し、該フィルタを介して該作業室内に循環供給する。【効果】作業室内の空気は仕切り壁を介して空調室内に吸引される。したがって作業室内の空気は死角を生ずることなく循環する。

請求項（抜粋）：

クリーンルーム室の一側を通気性仕切り壁により作業室と空調室とに区分し、該空調室内に空調機を配置し、かつ該空調室には循環ファンを備え、該循環ファンにより前記作業室内からの空気を直接、及び空調機を介して循環される温湿度を調整した空気を吸引し、上記作業室の天板に設けられるフィルタに供給し該フィルタを介して前記作業室内に循環供給することを特徴とするクリーンルーム。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭63-135737
特開昭62-268949

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