特許

J-GLOBAL ID：200903029786034349

研磨終了点検出装置、研磨量検出装置、及びこれらを有する研磨装置

発明者： 上田 武彦 ,  潮 嘉次郎 ,  小山 元夫 ,  嶋村 輝朗
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-217767
公開番号（公開出願番号）：特開平11-058228
出願日： 1997年08月12日
公開日（公表日）： 1999年03月02日
要約：

【要約】【課題】 ウェハ等の研磨を行う際に、研磨終了点または研磨量を、精度良く、簡便に検知することができる研磨終了点検出装置、研磨量検出装置、及びこれらを有する研磨装置を提供する【解決手段】 対物レンズ4の焦点は、研磨終了時の積層膜の位置3に合わされている。従って、(a) の状態においては、対物レンズ4の焦点は積層膜2の表面には合っておらず、表面の像はぼけて見える。研磨が進み、研磨終点に達すると、(b) のように、積層膜2の表面に対物レンズ4の焦点が合い、積層膜2の表面の像がはっきりと見えるようになる。よって、積層膜2の像をCCDカメラ等で撮像し、明確な像が得られたときに(焦点が合ったときに)、研磨の終点に達したと判断する。

請求項（抜粋）：

被研磨材の研磨の終点を検出する装置であって、研磨終了時の被研磨材の表面に焦点を合わせた光学系と、この光学系によって測定された被研磨材の表面の像を測定して焦点が合った像が得られたときに研磨の終点であると判定する判定部を有してなることを特徴とする研磨終了点検出装置。

IPC (3件)：

B24B 49/04 ,  B24B 49/12 ,  H01L 21/304 321

FI (3件)：

B24B 49/04 Z ,  B24B 49/12 ,  H01L 21/304 321 M