薄膜強度評価装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木晴敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-107716
公開番号（公開出願番号）：特開平8-304247
出願日： 1995年05月02日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：

【要約】【目的】薄膜のクラック時における臨界応力を正確に、かつ容易に求めることが出来ると共に、薄膜破壊の顕微鏡による観察が困難な複合材料についても臨界応力の測定,評価が出来る薄膜強度評価装置を提供する。【構成】基材4に薄膜3を設けた複合材料2に引っ張り荷重を加え、引張試験機5によりその応力値を測定すると共に、薄膜3のクラック発生を超音波センサ6によるAE波検出により特定し、AE波の分布のピークとその時の応力値を基にして処理部7で所定の計算を行いシェアーラグモデル等の手法により臨界応力を求め薄膜3の評価を行う。

請求項（抜粋）：

少なくとも片面に薄膜を形成したフイルム状の基材に引っ張り荷重を徐々に増加方向に加え、逐次応力値を読み取る引張試験機と、引っ張り荷重の増加にともない前記薄膜の亀裂により生じる音響波を受信して対応する検出信号を出力する超音波センサと、前記応力値の増加に応じた前記検出信号の変化から前記薄膜の破壊強度を求める処理部を設けることを特徴とする薄膜強度評価装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-031129
特開平2-236142
超音波スペクトラム顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-260470 出願人：凸版印刷株式会社

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