特許
J-GLOBAL ID:200903029792535538

レーザ測長器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 深見 久郎 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-346467
公開番号(公開出願番号):特開平6-194116
出願日: 1992年12月25日
公開日(公表日): 1994年07月15日
要約:
【要約】【目的】 部品点数を減少でき、小型化に最適なレーザ測長器を提供する。【構成】 レーザダイオード1で発光されたレーザ光を偏光ビームスプリッタ2で分岐し、一方の光である垂直成分の光を1/4波長板9を介してプレーンミラー11で反射させ、再び1/4波長板9を介して偏光ビームスプリッタ2に入射させることにより水平成分の光となる。他方の光である水平成分の光を1/4波長板10を介してプレーンミラー12で反射させ、再び1/4波長板10を介して偏光ビームスプリッタ2に入射させることにより垂直成分の光となる。これらの2つの光を合波し、1/4波長板13を透過させることにより円偏光の光となりポラライザ8を通過させることによって90 ゚位相差の2つの信号を生じさせ、これを2分割のフォトダイオード15で検知する。
請求項(抜粋):
発光素子で発光されたレーザ光を干渉計に導き、干渉計からの光を受光素子で受光して距離を測定するレーザ測長器において、前記干渉計は、その一方面に前記発光素子で発光されたレーザ光が入射され、その光を透過させるとともに、90 ゚反射させ、前記一方面に対向する面から入射されたレーザ光を透過させるとともに、90 ゚反射させる偏光ビームスプリッタと、前記偏光ビームスプリッタを透過した入射光を透過させる第1の1/4波長板、前記第1の1/4波長板を透過した入射光を前記第1の1/4波長板に向けて反射させる第1のミラー、前記偏光ビームスプリッタで90 ゚反射された入射光を透過させる第2の1/4波長板、前記第2の1/4波長板を透過した入射光を前記第2の1/4波長板に向けて反射させる第2のミラー、前記第1および第2のミラーで反射されかつ前記偏光ビームスプリッタで合波された光を透過させる第3の1/4波長板、および前記第3の1/4波長板を透過した反射光を前記受光素子に導くポラライザを備えた、レーザ測長器。

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