特許

J-GLOBAL ID：200903029793976481

流体中の微小異物検査方法

発明者： 近田 彰夫 ,  小中 博之 ,  山下 真 ,  安岡 己雄 ,  加藤 茂 ,  米谷 敏夫
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 青木 秀實 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-195459
公開番号（公開出願番号）：特開平6-088786
出願日： 1993年07月12日
公開日（公表日）： 1994年03月29日
要約：

【要約】【目的】 流体全量中の微小異物を検査する方法を提供する。【構成】 流体通路1の一部を透明体1aで構成し、上記流体通路1の軸線とほぼ同じ方向から該通路をとり囲むように光を入射し、前記流体通路1の透明体1aヶ所において、流体中の異物による散乱光を流路方向とほぼ直角な方向から観測することによって流体中の微小異物を検出する流体中の微小異物検査方法。

請求項（抜粋）：

流体通路の一部を透明体で構成し、上記流体通路の軸線とほぼ同じ方向から該通路をとり囲むように光を入射し、前記流体通路の透明体ヶ所において、流体中の異物による散乱光を流体の流路方向とほぼ直角な方向から観測することによって流体中の微小異物を検出することを特徴とする流体中の微小異物検査方法。