特許
J-GLOBAL ID：200903029795601779
改善された振動性能をもつMEMS垂直櫛形駆動装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
社本 一夫
, 小野 新次郎
, 小林 泰
, 千葉 昭男
, 富田 博行
, 西山 文俊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-129227
公開番号（公開出願番号）：特開2007-309936
出願日： 2007年05月15日
公開日（公表日）： 2007年11月29日
要約：
【課題】非常に低い位置感度を有する静電気MEMS駆動装置を提供する。【解決手段】微小電気機械システム(MEMS)閉ループ慣性デバイス38は振動下で改善された性能を示す垂直櫛形駆動部を有する。このデバイスは、ハウジング48からハウジングによって形成された空洞内に拡張する1つまたは複数のステータ歯46を含む。ロータ歯44は空洞に配置されたプルーフマス42から拡張する。プルーフマスは垂直方向に移動することができるフレキシャによってハウジングに接合される。ロータ歯は移動の方向に第1の長さの値を有し、ステータ歯は移動の方向に第2の長さの値を有する。第2の長さの値は第1の長さの値よりも大きい。ステータ歯は2つの電気的に隔てられた部分を含む。ステータ歯に対してロータ歯は長さが短いので、ロータ歯とステータ歯の上半部または下半部との間の引力がロータ垂直位置に依存しない。振動環境でより良好な加速度計精度が生成される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
囲まれた空洞を画定するハウジング(48)と、
前記ハウジングから前記空洞に拡張する1つまたは複数のステータ歯(46)と、
前記空洞に配置されたMEMSデバイスとを備え、
前記MEMSデバイスは、
前記ハウジングに結合されたプルーフマス(42)と、
各ロータ歯が対応するステータ歯から容量性距離に配置される、前記プルーフマスから拡張する1つまたは複数のロータ歯(44)とを備え、
前記プルーフマスは前記対応する歯の間の法線ベクトルにほぼ直角の方向に偏位するように構成され、
前記ロータ歯は偏位の方向に第1の高さの値を有し、前記ステータ歯は偏位の方向に第2の高さの値を有し、前記第2の高さの値は前記第1の高さの値よりも大きく、
前記ステータ歯は2つの電気的に隔てられた部分をもつ少なくとも1つの歯に含む、
微小電気機械システム(MEMS)(38)。
IPC (5件)：
G01P 15/125
, G01C 19/56
, G01P 9/04
, B81B 3/00
, B81B 7/02
G01P15/125 Z
, G01C19/56
, G01P9/04
, B81B3/00
, B81B7/02
2F105BB13
, 2F105BB15
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD13
, 3C081BA07
, 3C081BA33
, 3C081BA44
, 3C081BA48
, 3C081CA02
, 3C081CA14
, 3C081CA15
, 3C081CA26
, 3C081CA32
, 3C081DA04
, 3C081EA02
