特許
J-GLOBAL ID:200903029796380369
液晶パネルの外観検査装置及び外観検査方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴木 利之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-300369
公開番号(公開出願番号):特開2006-113288
出願日: 2004年10月14日
公開日(公表日): 2006年04月27日
要約:
【課題】液晶パネルの照明条件をさまざまに変えることによって液晶パネルの傷などの物理的欠陥を確実に撮影できるようにする。【解決手段】液晶パネルを撮影するときの照明条件は,3種類の照明装置の点灯状態と消灯状態を組み合わせたものである。照明1は同軸照明装置だけを点灯する。照明2は斜光照明装置だけを点灯する。照明3はバックライト装置だけを点灯する。照明4は斜光照明装置とバックライト装置を点灯する。これらの照明条件を用いて,さまざまな外観検査項目について液晶パネルの画像を取得して,その良否を判定する。【選択図】図19
請求項(抜粋):
次の構成を備える液晶パネルの外観検査装置。
(ア)矩形の液晶パネルを検査位置で支持する検査台。
(イ)前記検査位置にある液晶パネルを,前記液晶パネルの法線に平行な方向から撮像する撮像装置。
(ウ)前記撮像装置の撮像方向に実質的に平行な方向から前記検査位置にある液晶パネルに光を照射する同軸照明装置。
(エ)前記撮像方向に対して傾斜した四つの方向であって前記液晶パネルの四つの辺に対応する四つの方向から,前記検査位置にある液晶パネルに光を照射する斜光照明装置。
(オ)前記検査位置にある液晶パネルにその背面から光を照射するバックライト装置。
(カ)前記検査位置にある液晶パネルの四つの側面に対向して配置された四つの反射ミラーであって,前記側面からの光を前記撮像装置の方向に反射する反射ミラー。
(キ)前記同軸照明装置による光照射だけを利用して前記撮像装置で前記液晶パネルを撮影する第1撮影制御手段。
(ク)前記斜光照明装置による光照射だけを利用して前記撮像装置で前記液晶パネルを撮影する第2撮影制御手段。
(ケ)前記バックライト装置による光照射だけを利用して前記撮像装置で前記液晶パネルを撮影する第3撮影制御手段。
(コ)前記同軸照明装置,前記斜光照明装置及び前記バックライト装置の少なくとも二つによる光照射を利用して前記撮像装置で前記液晶パネルを撮影する第4撮影制御手段。
(サ)前記第1撮影制御手段,前記第2撮影制御手段,前記第3撮影制御手段及び前記第4撮影制御手段で取得した映像に基づいて前記液晶パネルの良否を判定する判定手段。
IPC (5件):
G02F 1/13
, G01B 11/30
, G01N 21/88
, G02F 1/133
, G09F 9/00
FI (5件):
G02F1/13 101
, G01B11/30 A
, G01N21/88 Z
, G02F1/13357
, G09F9/00 352
Fターム (48件):
2F065AA49
, 2F065BB02
, 2F065CC25
, 2F065DD09
, 2F065FF02
, 2F065FF41
, 2F065GG07
, 2F065HH12
, 2F065HH13
, 2F065HH14
, 2F065HH15
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065LL12
, 2F065LL30
, 2F065LL49
, 2F065NN01
, 2F065PP11
, 2F065TT02
, 2G051AA73
, 2G051AA90
, 2G051AB02
, 2G051AC15
, 2G051BA01
, 2G051BB01
, 2G051BC03
, 2G051CA04
, 2G051CC07
, 2G051DA01
, 2H088FA11
, 2H088FA30
, 2H088HA06
, 2H088HA22
, 2H088HA28
, 2H088MA20
, 2H091FA15X
, 2H091FA41X
, 2H091FA41Z
, 2H091FD22
, 2H091LA12
, 2H091LA30
, 5G435AA17
, 5G435BB12
, 5G435BB15
, 5G435EE25
, 5G435KK05
, 5G435KK10
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (2件)
-
液晶用基板の検査方法及び検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-122604
出願人:セイコーエプソン株式会社
-
外観検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-187758
出願人:大分日本電気株式会社
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