ボロメ-タ用酸化物薄膜および該酸化物薄膜を用いた赤外線センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金田暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-194502
公開番号（公開出願番号）：特開2000-143243
出願日： 1999年07月08日
公開日（公表日）： 2000年05月23日
要約：

【要約】【課題】非冷却型の赤外線センサに適用される酸化物ボロメータ材料には、従来TCRも比抵抗も大きい材料、あるいは比抵抗は小さいがTCRも小さい材料が使われているためノイズが小さく温度分解能(NETD)を小さくすることが困難であった。【解決手段】酸化バナジウムをVOxと表したときに1.5≦x≦2.0を満足し、かつVの一部が他の金属イオンMで置換され、前記Mがクロム(Cr)、アルミニウム(Al)、鉄(Fe)、マンガン(Mn)、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta)、チタン(Ti)のうち少なくとも一種からなる酸化物からなる、ボロメータ用酸化物薄膜。並びに該薄膜を用いたマイクロブリッジ構造を有する赤外線センサ。

請求項（抜粋）：

ボロメータ用酸化物薄膜であって、該酸化物が、酸化バナジウムをVOxと表したときに1.5≦x≦2.0を満足し、かつVの一部が他の金属イオンMで置換され、、前記Mがクロム(Cr)、アルミニウム(Al)、鉄(Fe)、マンガン(Mn)、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta)、チタン(Ti)のうち少なくとも一種からなることを特徴とするボロメータ用酸化物薄膜。

IPC (7件)：

C01G 31/00 , C01G 33/00 , C01G 35/00 , C01G 37/00 , C01G 45/00 , C01G 49/00 , G01J 1/02

FI (7件)：

C01G 31/00 , C01G 33/00 A , C01G 35/00 , C01G 37/00 , C01G 45/00 , C01G 49/00 A , G01J 1/02 C

引用特許：

審査官引用 (1件)

熱型赤外線検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-238055 出願人：株式会社ニコン

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