特許

J-GLOBAL ID：200903029804340193

稼働状況監視装置

発明者： 山元 真一郎 ,  丸 典生 ,  井上 隆行 ,  吉野 晴通
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立デバイスエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-058133
公開番号（公開出願番号）：特開平9-248739
出願日： 1996年03月14日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】【課題】 ホストコンピュータにかかる負荷を低減させると共に、装置の規模を小さくできる稼働状況監視装置を提供すること。【解決手段】 検査装置、計測装置および加工装置からなる製造装置の複数台からなる製造ライン装置の稼働状況を監視する稼働状況監視装置であって、前記製造装置毎に設置され、該製造装置の稼働状況に関する情報を収集する情報収集手段と、該情報収集手段に内蔵される前記各製造装置の稼働状況デジタル情報を所定のデジタル信号に変換するデジタル信号変換手段と、所定の台数の情報収集手段毎に設置され、前記各情報収集手段が収集した情報を収集および解析し、該解析した情報に基づいて前記複数台の装置の稼働状況を管理および監視する第1の監視手段と、該第1の監視手段が解析した情報を収集し、前記製造ライン装置の稼働状況を監視する第2の監視手段とを具備する。

請求項（抜粋）：

検査装置、計測装置および加工装置からなる製造装置の複数台からなる製造ライン装置の稼働状況を監視する稼働状況監視装置であって、前記製造装置毎に設置され、該製造装置の稼働状況に関する情報を収集する情報収集手段と、該情報収集手段に内蔵される前記各製造装置の稼働状況デジタル情報を所定のデジタル信号に変換するデジタル信号変換手段と、所定の台数の情報収集手段毎に設置され、前記各情報収集手段が収集した情報を収集および解析し、該解析した情報に基づいて前記複数台の装置の稼働状況を管理および監視する第1の監視手段と、該第1の監視手段が解析した情報を収集し、前記製造ライン装置の稼働状況を監視する第2の監視手段とを具備することを特徴とする稼働状況監視装置。

IPC (7件)：

B23Q 41/08 ,  G02F 1/13 101 ,  G05B 15/02 ,  G05B 23/02 302 ,  G06F 17/60 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/02

FI (7件)：

B23Q 41/08 Z ,  G02F 1/13 101 ,  G05B 23/02 302 V ,  H01L 21/66 Z ,  H01L 21/02 Z ,  G05B 15/02 Z ,  G06F 15/21 R