特許
J-GLOBAL ID：200903029813688240
歩留り予測システム
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-300214
公開番号（公開出願番号）：特開平5-135068
出願日： 1991年11月15日
公開日（公表日）： 1993年06月01日
要約：
【要約】【目的】本発明は薄膜製品製造に関し、工程の途中で中間検査を行うことで中間検査データと最終検査データの照合を行い、最終検査における歩留り及び取得数を予測するものである。【構成】中間検査装置2と最終検査装置3とデータ解析ステーション1と中間検査データベース5と最終検査データベース7及び歩留り予測データベース6から構成され、製品の中間検査を工程の途中で行い、その結果から歩留り予測データベース6にある歩留り予測データを検索し、最終検査における予測歩留りを算出する。【効果】工程の途中で製品の最終歩留りを予測できるので、生産管理部門はその予測歩留り情報に基づき早期に不足分の追加投入などの生産の調整が行え、注文数を納期内に納めることができ、また余剰品の低減による仕損費の低減が期待できる。
請求項（抜粋）：
製品ワークの製造工程に於て、中間検査を行い、その結果に基づき工程途中で該製品ワークの最終歩留りを予測することを特徴とする歩留り予測システム。
IPC (3件)：
G06F 15/21
, G06F 15/20
, H01L 21/02
