特許
J-GLOBAL ID：200903029815789494
液晶表示装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-084538
公開番号（公開出願番号）：特開平5-249493
出願日： 1992年03月06日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：
【要約】【目的】 アクティブマトリクス型液晶表示装置に組み込まれる薄膜トランジスタの保護構造を改良し信頼性を向上させる。【構成】 液晶表示装置は下部基板1と上部基板とを貼り合わせ液晶を挟持した構造を有する。下部基板1の表面にはマトリクス状に配列された画素電極15とこの画素電極を駆動する薄膜画素トランジスタ12とからなる表示部と、この表示部に接続されており且つ薄膜トランジスタ3,4等で構成された水平駆動回路部及び垂直駆動回路部とが形成されている。表示部、水平駆動回路部及び垂直駆動回路部に含まれる薄膜トランジスタ3,4,12の上部と配線部8の上部のみに窒化シリコン保護膜10を設けている。かかる構成により、薄膜トランジスタの電気特性劣化を防止できるとともに金属配線8の腐蝕断線を防止する事ができる。
請求項（抜粋）：
マトリクス状に配列された画素電極とこの画素電極を駆動する薄膜トランジスタとからなる表示部と、この表示部に接続されており且つ薄膜トランジスタで構成された水平駆動回路部及び垂直駆動回路部とが形成されたアクティブマトリクス基板と、対向電極を有し前記アクティブマトリクス基板に対向配置された上部基板と、前記アクティブマトリクス基板と上部基板との間に保持された液晶層とを備え、前記表示部、水平駆動回路部及び垂直駆動回路部に含まれる薄膜トランジスタの上部と配線部のみに窒化シリコン系保護膜を設けた事を特徴とする液晶表示装置。
IPC (3件)：
G02F 1/136 500
, H01L 27/12
, H01L 29/784
