脂環式炭化水素系重合体の含有金属除去方法および感放射線性組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩見谷周志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-153421
公開番号（公開出願番号）：特開2003-342319
出願日： 2002年05月28日
公開日（公表日）： 2003年12月03日
要約：

【要約】【課題】脂環式炭化水素系重合体類に含有されている不純物としての金属を除去し精製する方法、および精製された前記重合体を成分とするフォトレジストとして高性能の感放射線樹脂組成物を提供すること。【解決手段】1.酸を添加した脂環式炭化水素系重合体の有機溶媒溶液に、当該脂環式炭化水素系重合体の貧溶媒を混合して脂環式炭化水素系重合体を凝固させる工程と、凝固した脂環式炭化水素系重合体を非水溶性有機溶媒に溶解し、その溶液を酸性熱水溶液と接触させて含有金属を抽出する工程とを有することを特徴とする脂環式炭化水素系重合体の含有金属除去方法。2.前記含有金属除去方法により精製した脂環式炭化水素系重合体と感放射線性酸発生剤とを含有することを特徴とする感放射線性組成物。

請求項（抜粋）：

脂環式炭化水素系重合体の有機溶媒溶液に、当該脂環式炭化水素系重合体の貧溶媒および酸を混合して脂環式炭化水素系重合体を凝固させる工程と、凝固した脂環式炭化水素系重合体、非水溶性有機溶媒、酸および水を混合して含有金属を抽出する工程とを有することを特徴とする脂環式炭化水素系重合体の含有金属除去方法。

IPC (7件)：

C08F 6/08 , C08F 32/04 , C08G 67/02 , G03F 7/039 601 , G03F 7/26 , G03F 7/38 501 , H01L 21/027

FI (7件)：

C08F 6/08 , C08F 32/04 , C08G 67/02 , G03F 7/039 601 , G03F 7/26 , G03F 7/38 501 , H01L 21/30 502 R

Fターム (61件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA11 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025BJ10 , 2H025CB06 , 2H025CB08 , 2H025CB41 , 2H096AA25 , 2H096BA11 , 2H096BA20 , 2H096EA05 , 2H096LA30 , 4J005AB01 , 4J005BC00 , 4J100AG02Q , 4J100AG04Q , 4J100AJ01Q , 4J100AJ02Q , 4J100AJ08Q , 4J100AJ09Q , 4J100AL03Q , 4J100AL09Q , 4J100AL62Q , 4J100AM01Q , 4J100AM02Q , 4J100AM14Q , 4J100AM15Q , 4J100AM32Q , 4J100AM33Q , 4J100AM43Q , 4J100AM45Q , 4J100AQ06Q , 4J100AQ08Q , 4J100AQ12Q , 4J100AR03Q , 4J100AR04Q , 4J100AR11P , 4J100AR11Q , 4J100AR16Q , 4J100AR21Q , 4J100AR22Q , 4J100AR25Q , 4J100BA03P , 4J100BA04Q , 4J100BA15Q , 4J100BA20Q , 4J100BA22P , 4J100BB18P , 4J100CA01 , 4J100CA04 , 4J100FA08 , 4J100GA17 , 4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (3件)

金属含量の低減されたポリ(メタ)アクリレート類の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-286896 出願人：住友化学工業株式会社
環状オレフィン系重合用触媒及びそれを用いた重合体の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-330868 出願人：三菱化学株式会社
一酸化炭素とオレフィン系不飽和化合物の重合体の製造に適する触媒組成物及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-139283 出願人：シエル・インターナシヨナル・リサーチ・マートスハツペイ・ベー・ヴエー

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