特許
J-GLOBAL ID:200903029828535858
干渉測定機
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
韮澤 弘 (外7名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-329563
公開番号(公開出願番号):特開2001-147174
出願日: 1999年11月19日
公開日(公表日): 2001年05月29日
要約:
【要約】【課題】 非球面を含む組合せレンズ等の偏心等の幾何学的情報、光学的情報をレンズ系等の組上がり後に非破壊、非接触で測定できる測定機。【解決手段】 干渉計光路中に置かれた被検物1に光束を通し得られたi面を含む光路の干渉縞と、計算で求めた偏心に関するデータとから被検物1のi面の偏心を求める。
請求項(抜粋):
干渉計光路中に置かれた被検物に光束を通し得られたi面を含む光路の干渉縞と、計算で求めた偏心に関するデータとから被検物のi面の偏心を求めることを特徴とする干渉測定機。
IPC (4件):
G01M 11/00
, G01B 9/02
, G01B 11/00
, G01B 11/24
FI (5件):
G01M 11/00 L
, G01B 9/02
, G01B 11/00 G
, G01B 11/00 D
, G01B 11/24 D
Fターム (51件):
2F064AA06
, 2F064AA09
, 2F064BB04
, 2F064BB05
, 2F064EE04
, 2F064EE05
, 2F064FF01
, 2F064FF03
, 2F064FF05
, 2F064FF07
, 2F064GG12
, 2F064GG13
, 2F064GG22
, 2F064GG41
, 2F064GG47
, 2F064HH03
, 2F064HH08
, 2F064JJ01
, 2F065AA07
, 2F065AA31
, 2F065AA45
, 2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065CC21
, 2F065CC22
, 2F065FF52
, 2F065GG02
, 2F065GG04
, 2F065GG06
, 2F065GG07
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065LL08
, 2F065LL10
, 2F065LL12
, 2F065LL21
, 2F065LL30
, 2F065LL46
, 2F065LL47
, 2F065NN08
, 2F065PP05
, 2F065PP13
, 2F065QQ13
, 2F065QQ17
, 2F065QQ18
, 2F065QQ25
, 2F065QQ27
, 2G086FF04
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