特許
J-GLOBAL ID:200903029828535858

干渉測定機

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 韮澤 弘 (外7名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-329563
公開番号(公開出願番号):特開2001-147174
出願日: 1999年11月19日
公開日(公表日): 2001年05月29日
要約:
【要約】【課題】 非球面を含む組合せレンズ等の偏心等の幾何学的情報、光学的情報をレンズ系等の組上がり後に非破壊、非接触で測定できる測定機。【解決手段】 干渉計光路中に置かれた被検物1に光束を通し得られたi面を含む光路の干渉縞と、計算で求めた偏心に関するデータとから被検物1のi面の偏心を求める。
請求項(抜粋):
干渉計光路中に置かれた被検物に光束を通し得られたi面を含む光路の干渉縞と、計算で求めた偏心に関するデータとから被検物のi面の偏心を求めることを特徴とする干渉測定機。
IPC (4件):
G01M 11/00 ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/24
FI (5件):
G01M 11/00 L ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/00 G ,  G01B 11/00 D ,  G01B 11/24 D
Fターム (51件):
2F064AA06 ,  2F064AA09 ,  2F064BB04 ,  2F064BB05 ,  2F064EE04 ,  2F064EE05 ,  2F064FF01 ,  2F064FF03 ,  2F064FF05 ,  2F064FF07 ,  2F064GG12 ,  2F064GG13 ,  2F064GG22 ,  2F064GG41 ,  2F064GG47 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ01 ,  2F065AA07 ,  2F065AA31 ,  2F065AA45 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065CC21 ,  2F065CC22 ,  2F065FF52 ,  2F065GG02 ,  2F065GG04 ,  2F065GG06 ,  2F065GG07 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL08 ,  2F065LL10 ,  2F065LL12 ,  2F065LL21 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065LL47 ,  2F065NN08 ,  2F065PP05 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2G086FF04

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