回折格子を有する光検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加藤一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-018185
公開番号（公開出願番号）：特開平5-087635
出願日： 1992年01月04日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：

【要約】【目的】波長トラッキング機能やモニター機能などを有する回折格子を持つ光検出装置である。【構成】回折格子が半導体光導波層4を含む光導波路に形成され、この光導波路の外部に出射される回折光は複数部分から成る光検出素子列11で受光される。光導波路に入射する光の波長変動による回折光の出射角の変化はこの光検出素子列11で検出され、この検出情報に基づいて光導波路に注入される電流が制御されて光導波路のブラッグ波長が調整される。これで、回折光が常に光検出素子列11の特定部分に入射する様にされて、波長トラッキングを行ないつつ光検出が行なわれる。この検出情報は、半導体レーザなど他のものの制御にも用いられる。

請求項（抜粋）：

光が入力される半導体光導波路と、該導波路に形成された回折格子と、該導波路に電流を注入するかまたは電圧を印加する為の電極と、該導波路の外部に出射される回折光を検出する為の複数部分から成る光検出手段とを有することを特徴とする光検出装置。

IPC (6件)：

G01J 3/18 , G01J 1/02 , G01J 1/04 , H01L 31/10 , H04B 10/02 , H04J 14/04

FI (2件)：

H01L 31/10 Z , H04B 9/00 W

前のページに戻る