加速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-022454
公開番号（公開出願番号）：特開平6-324073
出願日： 1994年02月21日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【目的】小型化及び検出感度の向上を実現できる加速度センサを提供する。【構成】信号電極4,6及び中間電極5が形成された圧電セラミック板2,3を備え、これら圧電セラミック板2,3の中間電極5同士を対面接合して一体化したバイモルフ型検出素子1の長手方向に沿う両端縁を固定した構造の加速度センサであって、圧電セラミック板2,3のそれぞれは長手方向に沿う少なくとも中央部分2a,3aが各々の板厚方向に沿いつつ互いに逆となる向きX,Yに従って分極処理されたものであり、一方の信号電極4は一方の圧電セラミック板2の中央部分2aから端部分2bの一方側にかけて形成され、また、他方の信号電極6は他方の圧電セラミック板3の中央部分3aから端部分3bの他方側にかけて形成されたものであり、さらにまた、中間電極5は各圧電セラミック板2,3の中央部分2a,3aにのみ形成されたものである。

請求項（抜粋）：

共に短冊形状とされたうえで主表面上に信号電極(4,6)及び中間電極(5)がそれぞれ形成された一対の圧電セラミック板(2,3)を備え、かつ、これら圧電セラミック板(2,3)の中間電極(5)同士を対面接合して一体化したバイモルフ型検出素子(1)の長手方向に沿う両端縁を固定支持してなる構造の加速度センサであって、圧電セラミック板(2,3)のそれぞれは、長手方向に沿う少なくとも中央部分(2a,3a)が各々の板厚方向に沿いつつ互いに逆となる向き(X,Y)に従って分極処理されたものであり、一方の信号電極(4)は一方の圧電セラミック板(2)の中央部分(2a)から端部分(2b)の一方側にかけて形成され、また、他方の信号電極(6)は他方の圧電セラミック板(3)の中央部分(3a)から端部分(3b)の他方側にかけて形成されたものであり、さらにまた、中間電極(5)は各圧電セラミック板(2,3)の中央部分(2a,3a)にのみ形成されたものであることを特徴とする加速度センサ。

引用特許：

審査官引用 (2件)

圧電セラミックの熱処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-056276 出願人：日本精工株式会社
特開平4-245488

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