特許
J-GLOBAL ID：200903029866102710
多段ガス吸込装置用真空ポンプ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-324071
公開番号（公開出願番号）：特開平6-280785
出願日： 1993年12月22日
公開日（公表日）： 1994年10月04日
要約：
【要約】【目的】 操作が容易であり,コストが安くかつ占有面積が少なくてすむガス分析装置用の効率的に動作する多段ガス吸込装置用真空ポンプ装置を提供する。【構成】 ポンプ装置はターボ分子ポンプ(5)および後置された1つ以上のポンプ段(6)で構成され,前記ポンプ段(6)のロータはターボ分子ポンプのロータと同じ軸上に設けられている。大気圧に対し吐出する他のドライポンプ(8)は間欠運転される。ポンプ段の間に吸込接続口(9)が設けられている。大気に対し吐出するポンプの間欠運転は第1のポンプユニット(4)の駆動モータの電流または出力に依存して制御される。
請求項（抜粋）：
ロータディスクおよびステータディスクを有する多段ターボ分子ポンプ(5)と,予真空側方向に後置された1つ以上のポンプ段(6)であってそのロータがターボ分子ポンプのロータと同じ軸上にありこれにより第1のポンプユニットを形成するところの前記ポンプ段(6)とおよび大気圧に対し吐出する他のドライポンプ段(8)とで構成される多段ガス吸込装置(3)用真空ポンプ装置において:個々のポンプ段の圧力比および吸込能力に関して,ポンプ段内部における出口圧力レベルの位置(11)から入口圧力レベルの位置(10)への逆流が出口レベルの位置および入口レベルの位置と接続されているそれぞれの真空室の間のガス流れに比較して小さくなるように寸法が決められかつ配置された吸込接続口(9)が個々の段の間に設けられていることを特徴とする多段ガス吸込装置用真空ポンプ装置。
IPC (2件)：
F04D 19/04
, F04B 49/02 331
