特許
J-GLOBAL ID:200903029873539040
光学フィルタ及びそれを利用した顕微鏡装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
篠原 泰司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-260280
公開番号(公開出願番号):特開平9-101110
出願日: 1995年10月06日
公開日(公表日): 1997年04月15日
要約:
【要約】【課題】 可視光と赤外光とを分割するのに最適な光学フィルタと、この光学フィルタを光路分割手段として用いた高精度の測定を行うことが可能な顕微鏡装置を提供する。【解決手段】 本装置は、図示しない被検体を照明するための光源50及び照明用レンズ51と、対物レンズ31と、照明用レンズ51を射出した光を対物レンズ31へ導き且つ対物レンズ31からの前記被検体の反射光を透過するフィルタBと、この反射光を可視光のみの光と可視光と赤外光とが混在した光とに分割するフィルタAと、この可視光のみの光から被検体像を得るための結像レンズ33aと、前記混在光から可視光と赤外光とに分割するためのダイクロイックミラー101と、この可視光を図示しないエッジ検出器へ導き又前記被検体像を得るための結像レンズ33bと、その赤外光を図示しない焦点検出器へ導くための結像レンズ33cとにより構成した。
請求項(抜粋):
ガラス基板上に低屈折層と高屈折層とを所定の光学的膜厚で相互に繰り返し積層し、可視領域の光を透過する割合が約20〜80%の範囲であって、且つ赤外領域の所定の波長を有する光を約90%以上反射させ得るようにしたことを特徴とする光学フィルタ。
IPC (5件):
G01B 9/04
, G02B 5/20
, G02B 5/26
, G02B 5/28
, G02B 21/00
FI (5件):
G01B 9/04
, G02B 5/20
, G02B 5/26
, G02B 5/28
, G02B 21/00
引用特許:
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