特許
J-GLOBAL ID：200903029884652930
電子線描画装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-005332
公開番号（公開出願番号）：特開平5-190431
出願日： 1992年01月16日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：
【要約】【目的】 電子線描画装置の合わせマーク検出波形の雑音と波形歪を取除し、位置検出精度を向上する。【構成】 合わせマークの構造から設定した理想波形と位置検出用マークのない部分を走査して得られる波形とからノイズを除去したマーク検出信号を算出し、上記ノイズ除去後のマーク検出波形の非マ-ク部分の傾斜からベースラインの傾斜を算出し、さらにマーク検出波形を軸中心に二分して得られる各半波形の半値幅のうち、理想波形に近い方を採用してその半値幅を有する軸対称関数を設定し、これを上記マーク検出波形に置き換えてマ-クの位置合わせを行う。
請求項（抜粋）：
電子線を試料面に走査し、試料面に固定された合わせマークからの反射電子あるいは二次電子を検出器により検出して位置合わせを行う電子線描画装置において、上記検出器出力の周波数帯域幅と振幅を制御する帯域・ゲイン切替回路と、上記帯域・ゲイン切替回路の出力と上記上記検出器の出力を用いて上記帯域・ゲイン切替回路の制御信号を演算する信号処理手段とを備えたことを特徴とする電子線描画装置。
FI (2件)：
H01L 21/30 341 J
, H01L 21/30 341 K
