特許

J-GLOBAL ID：200903029889739812

位置計測装置及びアライメント方法

発明者： 大久保 麻理 ,  土屋 誠
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-391697
公開番号（公開出願番号）：特開2002-198278
出願日： 2000年12月22日
公開日（公表日）： 2002年07月12日
要約：

【要約】【課題】 基板の表面状態や照明条件等に応じて得られる画像信号が変化する場合や、画像信号の一部が欠けている場合であっても、画像信号に含まれるマークの位置を正確に且つ短時間で計測することができる位置計測装置及びアライメント方法を提供する。【解決手段】 撮像素子の撮像面に結像した像Im11等を光電変換して得られる画像信号を画像処理する際に、基板情報(ロット情報)に基づいてマーク像の状態を予測することにより、像Im11とその周辺部の濃淡関係が基板の表面状態や照明条件によって変わる場合であってもロット単位の基板に対して画像処理を最適化して像Im11の位置情報(マークの位置情報)を求める。

請求項（抜粋）：

ロット単位の基板に対し前記基板毎に設けられたマークを投影する光学系と、該光学系を介して投影された光学像の光電変換した画像信号を出力する撮像素子と、該撮像素子から出力される画像信号を画像処理し、前記光学像に含まれるマーク像の位置情報を求める処理手段とを備えた位置計測装置において、前記処理手段は、前記ロット単位の基板の基板情報に基づいて、前記画像信号のマーク像の状態を予測して画像処理し、前記マークの位置情報を求めることを特徴とする位置計測装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 9/00 ,  G06T 1/00 305 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

G01B 11/00 H ,  G03F 9/00 H ,  G06T 1/00 305 C ,  H01L 21/68 F ,  H01L 21/30 525 W

Fターム (71件)：

2F065AA03 ,  2F065AA04 ,  2F065AA06 ,  2F065AA12 ,  2F065AA17 ,  2F065AA20 ,  2F065BB27 ,  2F065CC00 ,  2F065CC20 ,  2F065CC25 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065FF41 ,  2F065FF51 ,  2F065FF61 ,  2F065GG02 ,  2F065GG04 ,  2F065GG24 ,  2F065HH12 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL22 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ38 ,  2F065QQ41 ,  2F065QQ42 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2F065TT02 ,  5B057AA03 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CC02 ,  5B057CH18 ,  5B057DA07 ,  5B057DC16 ,  5B057DC33 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031HA57 ,  5F031JA02 ,  5F031JA04 ,  5F031JA06 ,  5F031JA12 ,  5F031JA17 ,  5F031JA28 ,  5F031JA29 ,  5F031JA38 ,  5F031KA06 ,  5F031MA27 ,  5F046DD03 ,  5F046FA10 ,  5F046FC04