特許
J-GLOBAL ID：200903029894598291
移動ステージ装置とこの移動ステージ装置を備えた走査型プローブ顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-290325
公開番号（公開出願番号）：特開平11-108658
出願日： 1997年10月07日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：
【要約】【課題】 可能な限り剛性を高くしかつ高さ寸法を小さくし、さらに駆動部の剛性の影響を少なくした移動ステージ装置と、これを備える走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 上部に設けた試料台13を垂直方向に昇降させるZ軸ステージ30と、このZ軸ステージを水平方向へ移動させるX軸ステージ10とY軸ステージ20からなる水平ステージとからなり、水平な摺動面を有する定盤11の上に固定された移動ステージ装置であり、Z軸ステージは定盤の上に摺動自在に配置され、Z軸ステージと水平ステージは水平方向には剛性が高くかつ垂直方向には剛性が低い板ばね36で連結される。
請求項（抜粋）：
上部に設けた試料台を垂直方向に昇降させる垂直ステージとこの垂直ステージを水平方向へ移動させる水平ステージとからなり、水平な摺動面を有する定盤の上に固定された移動ステージ装置において、前記垂直ステージは前記定盤の上に摺動自在に配置され、前記垂直ステージと前記水平ステージは水平方向には剛性が高くかつ垂直方向には剛性が低い連結部材で連結されることを特徴とする移動ステージ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 21/30 Z
, B23Q 1/14 B
