特許
J-GLOBAL ID：200903029895313037
プレート状の基板を保持しかつ搬送する方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 敏雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-037303
公開番号（公開出願番号）：特開平6-239404
出願日： 1991年03月04日
公開日（公表日）： 1994年08月30日
要約：
【要約】【目的】 プレート状の基板、特にウェーハをハンドリング装置によって検査兼製作機械、特にウェーハ検査装置に保持かつ/または搬送する方法において、特にウェーハを信頼性良くかつ穏やかに、極めて小さなスペースに中間載置して、把持しかつ、搬送することができるようにする。【構成】 ウェーハ31をウェーハ板平面で互いに向かい合った2つの支持部材29,30の間で緊定する。
請求項（抜粋）：
プレート状の基板をハンドリング装置によって基板製作兼検査機械に保持かつ/または搬送する方法であって、前記ハンドリング装置に設けられた可動のアームにグリッパを装備し、該グリッパに、保持もしくは搬送したいウェーハを支持部材を介して固定可能にし、前記グリッパにウェーハを固定するための手段を設ける形式のものにおいて、保持もしくは搬送したいウェーハをウェーハ板の平面で互いに向かい合って位置する少なくとも2つの支持部材の間に緊定し、この場合、前記支持部材の少なくとも1つを位置固定に配置し、摺動可能に構成された少なくとも1つの別の支持部材を、搬送したいウェーハの周縁部に接線方向で接近可能で前記ウェーハにばね弾性的に当接可能に構成することを特徴とする、プレート状の基板を保持しかつ搬送する方法。
IPC (3件)：
B65G 1/00
, B65G 49/07
, H01L 21/68
