位置検出方法、位置検出装置、露光方法、露光装置、及びデバイス製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：立石篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-078759
公開番号（公開出願番号）：特開2002-280287
出願日： 2001年03月19日
公開日（公表日）： 2002年09月27日
要約：

【要約】【課題】物体の位置情報を精度良く検出する。【解決手段】支持部材36によって支持された物体W裏面側に、物体Wの表面には存在しないパターンが形成された背景部材42a,42b,42cを配置した後、物体W表面側から物体と背景部材とに照明光が照射される。引き続き、物体Wの表面及び背景部材42a,42b,42cで反射された光による物体Wの表面及び背景部材42a,42b,42cの像を撮像装置40a,40b,40cによって撮像する。そして、撮像結果における物体像領域と背景部材像領域との画像パターンの相違に基づいて、物体像領域と背景部材像領域との境界の位置情報を求める。これにより、透過光照明方式を採用せずに、物体の位置情報を精度良く行うことができる。

請求項（抜粋）：

物体の位置情報を検出する位置検出方法であって、前記物体の裏面側に、前記物体の表面上には存在しないパターンが形成された背景部材を配置する第1工程と;前記物体の表面側から照明光を照射する第2工程と;前記物体の表面及び前記背景部材からの反射光に基づいて、前記物体の外縁の位置情報を求める第3工程と;を含む位置検出方法。

IPC (5件)：

H01L 21/027 , G01B 11/00 , G02B 7/28 , G03F 9/00 , H01L 21/68

FI (7件)：

G01B 11/00 H , G03F 9/00 H , H01L 21/68 M , H01L 21/30 525 R , G02B 7/11 M , H01L 21/30 502 M , H01L 21/30 520 A

Fターム (84件)：

2F065AA12 , 2F065AA17 , 2F065AA26 , 2F065AA37 , 2F065AA39 , 2F065AA51 , 2F065BB02 , 2F065BB03 , 2F065BB27 , 2F065CC19 , 2F065FF42 , 2F065HH03 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065LL04 , 2F065LL10 , 2F065LL12 , 2F065LL21 , 2F065LL49 , 2F065LL59 , 2F065NN20 , 2F065PP12 , 2F065PP13 , 2F065QQ21 , 2F065QQ23 , 2F065QQ24 , 2F065QQ29 , 2F065QQ36 , 2F065QQ41 , 2F065QQ42 , 2F065TT01 , 2H051AA10 , 2H051BB17 , 2H051BB25 , 2H051CB05 , 2H051CC07 , 5F031CA02 , 5F031CA07 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031FA12 , 5F031FA14 , 5F031GA02 , 5F031GA30 , 5F031GA47 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031HA13 , 5F031HA53 , 5F031JA02 , 5F031JA04 , 5F031JA06 , 5F031JA14 , 5F031JA15 , 5F031JA17 , 5F031JA22 , 5F031JA28 , 5F031JA29 , 5F031JA30 , 5F031JA32 , 5F031JA34 , 5F031JA35 , 5F031JA36 , 5F031JA38 , 5F031KA06 , 5F031KA07 , 5F031KA08 , 5F031KA10 , 5F031KA13 , 5F031KA14 , 5F031LA04 , 5F031LA08 , 5F031MA27 , 5F046DB05 , 5F046DB10 , 5F046EB01 , 5F046EB10 , 5F046FA10 , 5F046FA20 , 5F046FC08

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