特許

J-GLOBAL ID：200903029909616569

半導体露光装置

発明者： 坂田 一則 ,  黒木 洋一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-203522
公開番号（公開出願番号）：特開平5-029192
出願日： 1991年07月19日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：

【要約】【目的】 トラブル発生時における対応処置として、迅速かつ自動的に故障原因の箇所を特定する手段あるいは、さらに自動的に詳細な故障原因を調査し、オペレータに知らせる機能、またトラブルの発生箇所別に発生頻度を報告することによって、装置固有の不具合等を検出するための手段を備えた半導体露光装置を提供する。【構成】 原板3に形成されたパターンを照射して半導体の基板7上にそのパターンを焼きつける半導体露光装置であって、装置の動作の経緯を示す履歴及び装置を操作するオペレータが入力するコマンドの履歴を逐次記録するための手段を備えるとともにトラブル解析のための判断ルールをデータベースとして備えトラブル発生時に前記履歴の記録により自動的に原因および故障箇所を解析推論しその部位を特定する。

請求項（抜粋）：

原板に形成されたパターンを照射して半導体の基板上にそのパターンを焼きつける半導体露光装置であって、装置の動作の経緯を示す履歴及び装置を操作するオペレータが入力するコマンドの履歴を逐次記録するための手段を備えるとともにトラブル解析のための判断ルールをデータベースとして備え、トラブル発生時に前記履歴の記録により自動的に原因および故障箇所を解析推論しその部位を特定することを特徴とする半導体露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G01R 31/26 ,  G06F 15/62 405 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

H01L 21/30 311 L ,  H01L 21/30 341 Z