特許

J-GLOBAL ID：200903029915036680

シリカ分散液及びその製造方法

発明者： 加藤 寛 ,  石津 賢一 ,  河野 博之
出願人/特許権者： 株式会社トクヤマ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-242380
公開番号（公開出願番号）：特開平9-142827
出願日： 1996年09月12日
公開日（公表日）： 1997年06月03日
要約：

【要約】【課題】 各種のシリカを原料に、研磨剤やコート剤の原料として有用な、安定性の高い新規のシリカ分散液及びその製造方法を提供する。【解決手段】 平均粒子径100nm未満の粉砕シリカ粒子を極性溶媒に分散してなるシリカ分散液であり、シリカ粒子を極性溶媒に分散してなるシリカスラリーを対向衝突させることによって平均粒子径100nm未満に粉砕することによって得ることができる。

請求項（抜粋）：

平均粒子径100nm未満の粉砕シリカ粒子を極性溶媒に分散してなるシリカ分散液。

IPC (3件)：

C01B 33/14 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 321

FI (3件)：

C01B 33/14 ,  B24B 37/00 H ,  H01L 21/304 321 P

引用特許：

審査官引用 (2件)

• シリカゾルの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-341421   出願人：日鉄鉱業株式会社
• 特公昭47-026959