加速度センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：広瀬和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-201379
公開番号（公開出願番号）：特開平8-043436
出願日： 1994年08月03日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：

【要約】【目的】固定電極と可動電極とが接触するのを防止して質量部を変位可能な状態に維持することにより、加速度センサの信頼性を向上させる。【構成】ガラス基板42上に低抵抗のシリコンからなる各固定部43,可動部44を設け、各固定部43に固定電極43Aを一体形成すると共に、可動部44を支持部45,梁46,質量部47および可動電極47A,47Aから大略構成する。また、支持部45には、梁46の変位方向両側に位置するように配置された抑止部48A,48Aからなるストッパ48を設け、梁46が質量部47の変位に伴って変位したときに、梁46をストッパ48に接触させることにより、梁46,質量部47の変位を抑制し、可動電極47Aが固定電極43Aに接触するのを防止する。さらに、ストッパ48と可動部44(梁46)を同電位であるから、ストッパ48が梁46と接触したまま固着するのを防止できる。

請求項（抜粋）：

絶縁基板と、該絶縁基板上に設けられ、低抵抗なシリコン板をエッチング処理することにより互いに分離して形成された固定部と可動部を備え、前記固定部には固定電極を一体に形成し、前記可動部は、絶縁基板上に固着された支持部と、梁を介して該支持部と連結され、加速度が作用したときに該加速度に応じて固定部との間で近接,離間するように変位する質量部と、該質量部に前記固定電極との間で隙間を介して対向するように設けられた可動電極とから一体形成してなり、前記質量部の変位に対応する前記固定電極と可動電極との間の静電容量を加速度として検出する加速度センサにおいて、前記可動部側には、前記質量部が変位したときに該可動部の梁または質量部と接触するのを許し、前記固定電極と可動電極とが接触するのを防止するストッパを該可動部に一体形成し、かつ該ストッパは前記可動部と電気的に同電位を保持する構成としたことを特徴とする加速度センサ。

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