多層セラミック焼結体及びその製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-239327
公開番号（公開出願番号）：特開平5-283272
出願日： 1991年09月19日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：

【要約】【目的】高寸法精度で、かつハンドリング時の信頼性等に優れる多層セラミツク焼結体及びこれを安価で容易に製造できる方法を提供する。【構成】側面の少なくとも一部が凹型若しくは凸型にわん曲した形状2を有する多層セラミック焼結体を構成する。このような形状は、積層されたセラミツク成形体を加熱焼成して一体の多層セラミツク焼結体を製造する際、焼成中、外表面の一部に実質的にその表面の焼結収縮を生じさせない範囲の加圧力または拘束力を加えると同時に、材料に発生するクリープ量をコントロールして、焼結体の加圧力及び/又は拘束力を加えない面(自由表面)の焼成収縮量を補い、焼結体の最終外形形状をコントロールする事によりえられる。【効果】多層セラミツク焼結体の一部の表面寸法精度を比較的簡単に向上でき、さらに得られる焼結体のハンドリング性、特に機械的な信頼性を大幅に向上できる。

請求項（抜粋）：

少なくとも表面及び内部のいずれかに導体層が形成された多層セラミック焼結体において、該焼結体の側面が曲面形状を有することを特徴とする多層セラミック焼結体。

IPC (10件)：

H01G 4/12 349 , C04B 35/00 , C04B 35/58 103 , C04B 35/58 104 , C04B 35/64 , H01L 41/09 , H01L 41/24 , H05K 1/02 , H05K 1/03 , H05K 3/46

FI (2件)：

H01L 41/08 N , H01L 41/22 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭57-017474
特開平2-005449

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