特許

J-GLOBAL ID：200903029950593834

光ディスク用フォトレジスト

発明者： 飯田 哲哉 ,  樋口 隆信 ,  佐々木 宏尚 ,  尾越 国三
出願人/特許権者： パイオニア株式会社
代理人 (1件)： 石川 泰男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-058050
公開番号（公開出願番号）：特開平5-258358
出願日： 1992年03月16日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：

【要約】【目的】 解像度が損なわれることなく現像の分解能が向上しており、したがって再生時のノイズレベルが低くてCN比(搬送波対雑音比)が向上した高密度の光ディスクを得ることのできる光ディスク用フォトレジストを提供する。【構成】 感光剤とベース・レジンとを含有し、次式(1);A=(a1 -a2)m10...(1)[ただし、式(1)において、a1 は感光剤のモル吸光係数、a2 はベース・レジンのモル吸光係数、m10は最初の感光剤濃度を表わす。]で表わされるA値が、1.2≦A値≦2.0の範囲にあるとともに、次式(2);B=(a2 m20+a3 m10)...(2)[ただし、式(2)において、a2 はベース・レジンのモル吸光係数、a3 は分解生成物のモル吸光係数、m10は最初の感光剤濃度、m20はベース・レジンの濃度(一定)を表わす。]で表わされるB値が、B値≦0.3の関係を満たす光ディスク用フォトレジストである。

請求項（抜粋）：

感光剤とベース・レジンとを含有し、光ディスク原盤の作製に使用されるポジ型フォトレジストにおいて、次式(1);A=(a1 -a2 )m10 (1)[ただし、前記式(1)において、a1 は感光剤のモル吸光係数を表わし、a2はベース・レジンのモル吸光係数を表わし、m10は最初の感光剤濃度を表わす。]で表わされるA値が、1.2≦A値≦2.0の範囲にあるとともに、次式(2);B=(a2 m20+a3 m10) (2)[ただし、前記式(2)において、a2 はベース・レジンのモル吸光係数を表わし、a3 は分解生成物のモル吸光係数を表わし、m10は最初の感光剤濃度を表わし、m20はベース・レジンの濃度(一定)を表わす。]で表わされるB値が、B値≦0.3の関係を満たすことを特徴とする光ディスク用フォトレジスト。

IPC (2件)：

G11B 7/26 501 ,  G03F 7/023 511

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-300443
  
• 特開昭54-105709
  
• 特開昭61-104761