特許
J-GLOBAL ID：200903029957081650
計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平田 忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-327143
公開番号（公開出願番号）：特開平10-170225
出願日： 1996年12月06日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：
【要約】【課題】 被計測物の2点を計測するためにXYテーブルを移動させると、XYテーブルの機械精度に依存しXYテーブルが変位するので、計測値に誤差が含まれる。【解決手段】 被計測物2を戴置するXYテーブル1とマーカ板4を固定しておき、読取装置3と被計測物2の誤差部2bとマーカ板4にそれぞれ焦点をあわせたときの読取装置3の変位量h’と、マーカ板4の位置情報から段差部2bの3次元計測を行う。
請求項（抜粋）：
被計測物を戴置して1次元、あるいは2次元の運動を行うテーブルと、光透過性を有し、面上に光学的に確認できる測定単位のマーカを有し、前記テーブルと相対的変位を生じないように前記テーブルに固定されたマーカ板と、前記テーブルと相対的な運動を行い、前記被計測物と前記マーカ板を読み取る読取手段と、前記読取手段が前記被計測物と前記マーカ板を読み取るために変位した変位量に基づいて前記被計測物の計測値を演算する演算手段を備えたことを特徴とする計測装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/00 H
, G01B 11/24 Z
