形状測定装置および測定方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-260698
公開番号（公開出願番号）：特開2000-088546
出願日： 1998年09月14日
公開日（公表日）： 2000年03月31日
要約：

【要約】【課題】被検面が非球面であっても、精度良く面形状を測定できる形状測定装置及び形状測定方法を提供する。【解決手段】干渉により生じる干渉縞の状態を検知することにより、前記被検面の形状を計測する形状測定方法において、光源と被検面との間に、反射面を有し点光源を生成する点光源生成手段を配置し、参照用光束は、点光源生成手段から射出された光束であり、測定用光束は、点光源生成手段から射出され、反射面によって反射された光束であり、参照用光束と測定用光束とを干渉させ、第1の干渉縞の状態を形成し、次いで、点光源生成手段と被検面との間隔を変化させ、再び参照用光束と測定用光束とを干渉させ、第2の干渉縞の状態を形成し、第1の干渉縞の状態と第2の干渉縞の状態とを解析することにより、被検面全体の形状を計測する形状測定方法を提供する。

請求項（抜粋）：

光源から出射された光束の一部を測定用光束として被検面に照射するとともに、前記被検面で反射された前記測定用光束と、前記光源から出射された光束の一部であって所定の波面を有する参照用光束とを互いに干渉させ、干渉により生じる干渉縞の状態を検出器で検知することにより、前記被検面の形状を計測する形状測定装置において、前記光源と前記被検面との間に配置され、反射面を有し、点光源を生成する点光源生成手段と、該点光源生成手段と前記被検面との間隔を変化させる間隔変化手段と、前記検出器からの情報により、干渉縞を解析する解析手段と、を有し、前記参照用光束は、前記点光源生成手段から射出された光束であり、前記測定用光束は、前記点光源生成手段から射出され、前記反射面によって反射された光束であることを特徴とする形状測定装置。

Fターム (20件)：

2F065EE08 , 2F065FF01 , 2F065FF48 , 2F065FF51 , 2F065GG05 , 2F065GG06 , 2F065GG12 , 2F065GG23 , 2F065HH04 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065KK01 , 2F065LL02 , 2F065LL62 , 2F065LL63 , 2F065LL67 , 2F065NN06 , 2F065PP02 , 2F065PP12 , 2F065QQ31

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