特許
J-GLOBAL ID：200903029968179253
大気圧吹き出し型プラズマ反応装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-272853
公開番号（公開出願番号）：特開平6-108257
出願日： 1991年10月21日
公開日（公表日）： 1994年04月19日
要約：
【要約】 (修正有)【構成】 吹き出し口2端縁に突先部を設けた金属筒1を電極とし、この電極金属筒1の吹き出し口2より希ガス、不活性ガスおよび/または空気、もしくはこれらと反応性ガスとの混合ガス5を吹き出して電圧を印加し、大気圧下で放電プラズマを生成させてなる大気圧吹き出し型プラズマ反応装置、およびこれを用いる反応方法の提供。【効果】 簡便な構造で、高効率な大気圧でのグロープラズマ等の反応が可能となる。
請求項（抜粋）：
吹き出し口端縁に突先部を設けた金属筒を電極とし、この電極金属筒の吹き出し口より希ガス、不活性ガスおよび/または空気、もしくはこれらと反応性ガスとの混合ガスを吹き出して電圧を印加し、大気圧下で放電プラズマを生成させてなることを特徴とする大気圧吹き出し型プラズマ反応装置。
IPC (5件)：
C23C 16/50
, B01J 19/08
, C23C 14/12
, C23C 14/32
, C08J 7/00 306
