特許

J-GLOBAL ID：200903029968648121

ペリクル貼付装置

発明者： 蛯原 明光
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 森岡 正樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-261149
公開番号（公開出願番号）：特開平10-090877
出願日： 1996年09月11日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】【課題】本発明は、ペリクルを一面に張り渡した矩形形状のフレームをレチクルに貼り付けるペリクル貼付装置に関し、大きさの異なる複数の矩形フレームに対して押圧板を交換せずにペリクルをレチクルに貼付することのできるペリクル貼付装置を提供することを目的とする。【解決手段】表面にペリクルが張り渡され、裏面の各辺部に接着領域が形成された矩形フレームを把持して、レチクルに接触させた接着領域を押圧して矩形フレームをレチクルに圧着する圧着部50の押圧板36は、テーブル51上に設けられ、矩形フレームの各辺部の接着領域の長さに対応して押圧領域の長さを変更できるようにスライダー72a〜72d上にスライド可能に設けられた複数の圧着板52a〜52dを有するように構成されている。

請求項（抜粋）：

表面にペリクルが張り渡され、裏面に接着領域が形成された矩形フレームを把持して、前記接着領域をレチクルに押圧して前記矩形フレームを前記レチクルに押圧する押圧部を有し、前記ペリクルを前記レチクルに貼り付けるペリクル貼付装置であって、前記押圧部は、前記矩形フレームの大きさに対応して押圧領域を変更する変更機構を有していることを特徴とするペリクル貼付装置。