特許

J-GLOBAL ID：200903029972827430

荷電粒子ビーム装置における像信号処理方法

発明者： 山田 貢
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-074088
公開番号（公開出願番号）：特開平5-283028
出願日： 1992年03月30日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：

【要約】【目的】 試料の表面形状に方向性がある場合にも、正確に焦点合わせや非点補正を行うことができる荷電粒子ビームにおける像信号処理方法を実現する。【構成】 境界検出空間フィルタ演算器23により、0°,45°,90°,135°の4つの方向において対物レンズ3の各励磁ステップごとに行われる1回の試料の所定領域の走査ごとに、像信号から境界が検出され、更には、試料の所定領域の走査ごとに画素絶対値総和演算が行われる。このようにして焦点合わせ動作が行われる。図10のケースでは、各波形のピーク位置が異なっており、ピーク検出回路25は、外側のピークf1とf2とを検出し、その中間位置f0を正確なフォーカス位置として検出する。ピーク検出回路25で検出されたf0の値は制御回路14に供給され、制御回路14は、駆動電源16を制御し、f0の時の励磁強度に対物レンズ3を設定し、焦点合わせを行う。

請求項（抜粋）：

荷電粒子ビームを試料上に集束するための集束レンズと、試料上の荷電粒子ビームの照射位置を走査するための走査手段と、試料への荷電粒子ビームの照射によって得られた信号を検出する検出器とを備えた荷電粒子ビーム装置において、検出器によって検出された信号を画像メモリに記憶させ、画像メモリに記憶された各画素信号に対し、境界検出空間フィルタ演算を施し、その演算結果につき、画素絶対値総和演算を行うようにした荷電粒子ビーム装置における像信号処理方法。

IPC (4件)：

H01J 37/21 ,  G06F 15/31 ,  H01J 37/153 ,  H01J 37/22

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-194839
  
• 特開平2-199967
  
• 特開平1-291580