特許
J-GLOBAL ID：200903029975976282
電鋳装置
出願人/特許権者：
代理人 (1件)： 羽鳥 修 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-139484
公開番号（公開出願番号）：特開平8-333695
出願日： 1995年06月06日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：
【要約】【目的】 基板交換時の繁雑なメンテナンス作業を不要とし、安定して基板にメッキ処理を施すことができる電鋳装置の提供。【構成】 基板2を支承するカソード電極3と、該カソード電極3の下方に配設された本体4と、該本体4に対して上下動自在に配設された係合治具5と、該係合治具5を介して該本体4に装着されて上記カソード電極3とともに上記基板2の周縁部2aを挟持するクランパー6とを備えており、且つ上記本体4内に、一端部が上記係合治具に臨んで開口する給気管路40を設けてあり、上記給気管路41を通じて圧縮空気を供給し、上記係合治具5を下方に押圧して上記クランパー6を上記カソード電極3に対して下方に移動させ、上記基板2を挟持するようになしてなる。
請求項（抜粋）：
基板2を支承するカソード電極3と、該カソード電極3の下方に配設された本体4と、該本体4に対して上下動自在に配設された係合治具5と、該係合治具5を介して該本体4に装着されて上記カソード電極3とともに上記基板2の周縁部2aを挟持するクランパー6とを備えており、且つ上記本体4内に、一端部が上記係合治具に臨んで開口する給気管路40を設けてあり、上記給気管路41を通じて圧縮空気を供給し、上記係合治具5を下方に押圧して上記クランパー6を上記カソード電極3に対して下方に移動させ、上記基板2を挟持するようになしてあることを特徴とする電鋳装置。
IPC (3件)：
FI (3件)：
引用特許：
Copyright (c) 2009 Japan Science and Technology Agency. All Rights Reserved