平面アンテナ部材、これを用いたプラズマ処理装置及びプラズマ処理方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅井章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-057746
公開番号（公開出願番号）：特開2000-260747
出願日： 1999年03月04日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】電界集中による異常放電を抑制しつつ大電力を投入することができる平面アンテナ部材を提供する。【解決手段】被処理体Wを載置する載置台24を内部に設けて真空引き可能になされた処理容器22内に対して、複数のスロット84からプラズマ発生用のマイクロ波を導入するための平面アンテナ部材66において、前記スロットの平面形状は、曲線により囲まれた形状になされている。これにより、電界集中による異常放電を抑制しつつ大電力を投入することが可能となる。

請求項（抜粋）：

被処理体を載置する載置台を内部に設けて真空引き可能になされた処理容器内に対して、複数のスロットからプラズマ発生用のマイクロ波を導入するための平面アンテナ部材において、前記スロットの平面形状は、少なくとも一部は曲線により囲まれた形状になされていることを特徴とする平面アンテナ部材。

Fターム (16件)：

5F004AA00 , 5F004BA04 , 5F004BA09 , 5F004BA20 , 5F004BB11 , 5F004BB13 , 5F004BB14 , 5F004BB18 , 5F004BB21 , 5F004BB22 , 5F004BB25 , 5F004BC08 , 5F004DA00 , 5F004DA25 , 5F004DA26 , 5F004DB00

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-361529
特開平3-020460
特開平1-283359

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