特許

J-GLOBAL ID：200903029978100531

ポリイミド及びポリイミド系溶液並びにポリイミド膜の形成方法

発明者： 石井 和久 ,  仁平 貴康 ,  袋 裕善
出願人/特許権者： 日産化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-243307
公開番号（公開出願番号）：特開2001-064388
出願日： 1999年08月30日
公開日（公表日）： 2001年03月13日
要約：

【要約】【課題】 高平坦化性を有すると共に高耐熱性、高透明性などの特性を具備した新規なポリイミド、および前記ポリイミドまたはその前駆体と溶剤成分を含有するポリイミド系溶液、並びに前記溶液を用いた平坦性の優れたポリイミド膜の形成方法の提供にある。【解決手段】 一般式[I]で表される繰り返し単位を有するポリイミドに関し、また前記ポリイミド又はその前駆体並びに溶剤成分を含有するポリイミド系溶液に関する。更に、前記一般式[I]で表される繰り返し単位を有するポリイミドまたはその前駆体並びに溶剤成分を含有するポリイミド系溶液を、段差を有する配線または素子パターン上に塗布し、さらに硬化して形成されたポリイミド膜が、素子パターンによらず高平坦化するポリイミド膜の形成方法に関する。【化1】(式中、繰り返し単位nは3〜1000の整数であり、式中pは0又は1、Xは-O-、-SO2-、-CO-、-C(CF3)2-、-Si(R)2-O-Si(R)2-、Yは-SO2-、-S-、-C(CH3)2-、-C(CF3)2-、Rはアルキル基を表す。)

請求項（抜粋）：

一般式[I]【化1】(式中、繰り返し単位nは3〜1000の整数であり、式中pは0又は1、Xは-O-、-SO2-、-CO-、-C(CF3)2-、-Si(R)2-O-Si(R)2-、Yは-SO2-、-S-、-C(CH3)2-、-C(CF3)2-、Rはアルキル基を表す。)で表される繰り返し単位を有することを特徴とするポリイミド。

IPC (5件)：

C08G 73/10 ,  C08L 79/08 ,  C09D173/00 ,  C09D179/08 ,  H01L 21/312

FI (5件)：

C08G 73/10 ,  C08L 79/08 Z ,  C09D173/00 ,  C09D179/08 Z ,  H01L 21/312 B

Fターム (106件)：

4J002CM041 ,  4J002EC027 ,  4J002EC047 ,  4J002ED027 ,  4J002EL066 ,  4J002EP016 ,  4J002ET016 ,  4J002EU026 ,  4J002EU046 ,  4J002EV206 ,  4J002EV216 ,  4J002EW156 ,  4J002FD206 ,  4J002FD207 ,  4J002GQ05 ,  4J038DJ021 ,  4J038GA02 ,  4J038GA12 ,  4J038GA13 ,  4J038GA15 ,  4J038JA20 ,  4J038JA26 ,  4J038JA57 ,  4J038JA64 ,  4J038JA70 ,  4J038JB13 ,  4J038JB24 ,  4J038JB27 ,  4J038JB28 ,  4J038JC11 ,  4J038JC12 ,  4J038JC22 ,  4J038MA07 ,  4J038MA09 ,  4J038MA14 ,  4J038NA14 ,  4J038NA21 ,  4J038NA24 ,  4J038PB09 ,  4J043PA02 ,  4J043PC015 ,  4J043PC016 ,  4J043PC145 ,  4J043PC146 ,  4J043QB15 ,  4J043QB23 ,  4J043QB26 ,  4J043QB31 ,  4J043RA35 ,  4J043SA06 ,  4J043SB01 ,  4J043SB03 ,  4J043TA14 ,  4J043TA22 ,  4J043TA26 ,  4J043TB01 ,  4J043TB03 ,  4J043UA022 ,  4J043UA032 ,  4J043UA052 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA151 ,  4J043UA251 ,  4J043UA252 ,  4J043UA261 ,  4J043UA262 ,  4J043UA362 ,  4J043UA622 ,  4J043UA761 ,  4J043UA762 ,  4J043UB011 ,  4J043UB021 ,  4J043UB022 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB131 ,  4J043UB151 ,  4J043UB152 ,  4J043UB291 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043UB322 ,  4J043UB401 ,  4J043UB402 ,  4J043VA022 ,  4J043VA031 ,  4J043VA041 ,  4J043VA062 ,  4J043ZA12 ,  4J043ZA46 ,  4J043ZA52 ,  4J043ZB03 ,  4J043ZB11 ,  4J043ZB50 ,  5F058AA06 ,  5F058AA10 ,  5F058AB07 ,  5F058AC02 ,  5F058AD04 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01