特許

J-GLOBAL ID：200903029978272502

端面研磨装置におけるウエハチャック機構

発明者： 箱守 駿二
出願人/特許権者： スピードファム・アイペック株式会社
代理人 (1件)： 中林 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-337648
公開番号（公開出願番号）：特開2000-158337
出願日： 1998年11月27日
公開日（公表日）： 2000年06月13日
要約：

【要約】【課題】 何ら損傷を与えることなくウエハを掴持するとともに、ウエハの表裏面を反転可能とした端面研磨装置におけるウエハチャック機構を提供する。【解決手段】 互いに対向する断面コ字状の一対のアーム間でウエハを掴持するとともに、掴持した状態で回転可能とする。この掴持時にウエハの周端面はアームと当接することなく、ウエハの面取り端面のみがアームに当接するようにして、ウエハの周端面に力が作用しないようにし、これによってウエハの破損は防止できる。

請求項（抜粋）：

積層した状態で複数のウエハを収納したカセットを供給部に設け、このカセット内のウエハを順次搬送してノッチ研磨部でウエハのノッチを研磨し、また、一対の周面研磨装置が配設された端面研磨部でウエハを表面側および裏面側にしてそれぞれ対応する周面研磨装置で周端面の研磨を行い、表裏面側での研磨を行ったウエハを搬送部材によって排出部のカセット内に収納するようにした端面研磨装置において、ウエハチャック機構を配設し、このウエハチャック機構は、開閉可能であるとともに、閉じた時に前記ウエハを掴持可能な一対のアームを有し、ノッチ研磨が終了したウエハを一方の周面研磨装置に搬送し、この周面研磨装置での研磨が終了したウエハを表裏面を反転した状態で他方の周面研磨装置に搬送し、この他方の周面研磨装置での研磨が終了した時に前記搬送部材に伝達するようにしたことを特徴とする端面研磨装置におけるウエハチャック機構。

IPC (3件)：

B24B 41/06 ,  H01L 21/304 621 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

B24B 41/06 A ,  H01L 21/304 621 E ,  H01L 21/68 S

Fターム (16件)：

3C034AA13 ,  3C034AA17 ,  3C034BB84 ,  3C034DD10 ,  3C034DD20 ,  5F031CA02 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA13 ,  5F031FA21 ,  5F031GA13 ,  5F031GA14 ,  5F031GA15 ,  5F031GA44 ,  5F031GA47 ,  5F031MA22