特許

J-GLOBAL ID：200903029981178410

オージェ電子分光装置およびオージェ電子分光分析法

発明者： 山 田 貴 久
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-055229
公開番号（公開出願番号）：特開2001-242106
出願日： 2000年03月01日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：

【要約】【課題】 超高真空雰囲気ではなく、高真空雰囲気でオージェ分析が行えるオージェ電子分光装置を提供すること。【解決手段】 中央制御装置37は、分析点を含む所定領域上でのイオンビーム走査をイオンビーム照射系制御装置32に指示する。また、中央制御装置37は、分析点のオージェ分析の開始を電子ビーム照射系制御装置11および電子分光器制御装置16に指示する。この結果、分析点上に堆積する汚染物質がイオンビーム照射によって除去されながら、分析点の元素分析が行われる。

請求項（抜粋）：

試料室に配置された試料に電子線を照射し、その電子線照射により試料から放出されるオージェ電子を検出して試料分析を行うようにしたオージェ電子分光装置において、前記試料室を高真空に排気するための排気手段と、前記試料にイオンビームを照射するためのイオンビーム照射手段を備え、試料上のオージェ分析点に電子線を照射しながらイオンビームを前記分析点に照射して、オージェ分析時に前記分析点上に堆積する汚染物質をイオンビーム照射によって除去するようにしたことを特徴とするオージェ電子分光装置。

IPC (4件)：

G01N 23/227 ,  H01J 37/252 ,  H01J 37/30 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01N 23/227 ,  H01J 37/252 Z ,  H01J 37/30 A ,  H01L 21/66 C

Fターム (39件)：

2G001AA03 ,  2G001AA05 ,  2G001AA09 ,  2G001BA07 ,  2G001BA09 ,  2G001CA03 ,  2G001EA04 ,  2G001FA06 ,  2G001GA06 ,  2G001GA09 ,  2G001GA11 ,  2G001HA09 ,  2G001HA13 ,  2G001JA11 ,  2G001JA14 ,  2G001KA01 ,  2G001LA11 ,  2G001PA01 ,  2G001PA07 ,  2G001RA04 ,  2G001RA05 ,  2G001RA20 ,  4M106AA01 ,  4M106AA10 ,  4M106BA02 ,  4M106CA41 ,  4M106CB21 ,  4M106DH01 ,  4M106DH33 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21 ,  5C033RR01 ,  5C033RR03 ,  5C033RR08 ,  5C034AA02 ,  5C034AA04 ,  5C034AA09 ,  5C034AB02 ,  5C034AB04

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平3-251760