特許

J-GLOBAL ID：200903029985904085

被研磨物保持材

発明者： 森木 祥治郎 ,  北村 章純
出願人/特許権者： 日東シンコー株式会社
代理人 (1件)： 澤 喜代治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-250548
公開番号（公開出願番号）：特開2002-059362
出願日： 2000年08月22日
公開日（公表日）： 2002年02月26日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、シリコンウェハなどの薄板状の被研磨物を研磨する治具としての被研磨物保持材に係り、薄肉ながらも被研磨物のスクラッチを発生させることのない被研磨物保持材の提供を目的とする。【構成】 本発明は、有機繊維からなる基材に樹脂を含浸させた基層Bと、この基層Bの表面に積層された表面フィルム層Fとを備え、しかも、この表面フィルム層Fが引張弾性率4000N/mm2以上の有機樹脂フィルムからなる。

請求項（抜粋）：

シリコンウェハ、液晶用ガラスなどの薄板状の被研磨物が内嵌される少なくとも1口のワーク保持孔が貫設されたシート状の被研磨物保持材において、この被研磨物保持材が、有機繊維からなる基材に樹脂を含浸させた基層と、この基層の表面に積層された表面フィルム層とを備え、しかも、この表面フィルム層が引張弾性率4000N/mm2以上の有機樹脂フィルムからなることを特徴とする被研磨物保持材。

Fターム (8件)：

3C058AA07 ,  3C058AB01 ,  3C058AB04 ,  3C058AB06 ,  3C058AB08 ,  3C058CA06 ,  3C058DA06 ,  3C058DA17