特許
J-GLOBAL ID：200903029987290505
投影装置用照明光学系
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-346084
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194595
出願日： 1992年12月25日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】ケーラー照明を厳密に維持することが可能でありながら、非球面レンズの口径が小さく、製造も容易で優れた性能を有する照明光学系を提供する。【構成】多数光源像形成手段による多数の光源像を再結像して2次光源像を形成する光源像リレー光学系と、前記光源像リレー光学系による2次光源像からの照明光を被照明物体に導くと共に投影対物レンズの瞳位置に前記2次光源像の像を再結像することによって被照明物体面を均一照明するためのコンデンサー光学系とを設け、前記光源像リレー光学系を構成するレンズの少なくとも1つのレンズ面に、該光源像リレー光学系による2次光源像に球面収差を発生させる非球面を設けた。光源像リレー光学系の非球面は、該光源像リレー光学系による2次光源像に正の球面収差を発生させる作用を有することが実用的である。
請求項（抜粋）：
光束を供給する光源手段と、該光源手段から供給される光束を受けて多数の光源像を形成する多数光源像形成手段と、該多数光源像形成手段による多数の光源像を再結像して2次光源像を形成する光源像リレー光学系と、前記光源像リレー光学系による2次光源像からの照明光を被照明物体に導くと共に投影対物レンズの瞳位置に前記2次光源像の像を再結像することによって被照明物体面を均一照明するためのコンデンサー光学系とを有し、前記光源像リレー光学系を構成するレンズの少なくとも1つのレンズ面に、該光源像リレー光学系による2次光源像に球面収差を発生させる非球面を設けたことを特徴とする投影装置用照明光学系。
IPC (4件)：
G02B 27/00
, G02B 13/18
, G03B 27/32
, G03B 27/54
