パターン検査装置並びに電子線によるパターン検査装置及びその方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-345340
公開番号（公開出願番号）：特開平10-185847
出願日： 1996年12月25日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】同一のパターン群が多数、規則的に配列されたウエハ等の被検査対象物上において、規則性なく不均一に発生する欠陥および被検査対象物全面で均一に発生するような不良について、高速で信頼度よく検査できるようにする。【解決手段】電子銃21と、電子線を複数個の同一パターン群が規則的に配列された被検査対象1に対して集束させるレンズ系22、23と、電子線を走査する偏向器24と、被検査対象1から発生する電子を検出する検出器25と、電子による画像信号をディジタル画像信号に変換するA/D変換器8と、ディジタル画像信号から前記被検査対象上の特定個所におけるパターンの特徴量を算出し、良品の規格に対して適合・不適合を判断する計算手段15と、画像信号同士を比較して不一致部を抽出して欠陥を検出する欠陥判定手段10とを備えた。

請求項（抜粋）：

電子線を出射する電子銃と、該電子銃から出射された電子線を複数個の同一パターン群が規則的に配列された被検査対象に対して集束させるレンズ系と、集束された電子線を走査する偏向器と、前記被検査対象から発生する電子を検出する検出器と、該検出器から得られる電子による画像信号をディジタル画像信号に変換するA/D変換器と、該A/D変換器から得られるディジタル画像信号から前記被検査対象上の特定個所におけるパターンの特徴量を算出し、該算出されたパターンの特徴量に基いて良品の規格に対して適合・不適合を判断し、更に前記検出器から得られるパターン群に応じた画像信号同士を比較して不一致部を抽出して欠陥を検出する計算手段とを備えたことを特徴とする電子線によるパターン検査装置。

IPC (4件)：

G01N 23/225 , G01R 31/302 , G06T 7/00 , H01L 21/66

FI (4件)：

G01N 23/225 , H01L 21/66 J , G01R 31/28 L , G06F 15/62 405 A

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