多層集合基板

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小柴雅昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-342965
公開番号（公開出願番号）：特開2001-160688
出願日： 1999年12月02日
公開日（公表日）： 2001年06月12日
要約：

【要約】【課題】複数個の機能エレメントからなる機能デバイスをそれぞれ構成する複数個の多層基板製品を取り出すための多層集合基板において、分割前の多層集合基板の段階で、機能デバイスの測定を能率的に行なえるようにする。【解決手段】多層集合基板の特定の領域に検査用多層基板3aを配置する。検査用多層基板3aは、多層基板製品と実質的に同じ基体層11〜20を備える積層構造を有するとともに、多層基板製品に備える電極と実質的に同じ電極26〜39等を形成しており、多層基板製品に備える複数個の機能エレメントからなる機能デバイスと実質的に同じ機能デバイスを同じ位置に配置している。そして、検査用多層基板3aの一方主面上には、機能デバイスの特性を測定するのに必要なすべての測定用パッド55〜57が位置される。

請求項（抜粋）：

その主面上で区画された複数個の領域の各々に関連して多層基板製品が配置されていて、前記領域間の境界線に沿って分割することにより複数個の前記多層基板製品を取り出すことができるようにされた、多層集合基板であって、前記領域の少なくとも1個には検査用多層基板が配置され、前記検査用多層基板は、前記多層基板製品と実質的に同じ基体層からなる積層構造を有するとともに、前記多層基板製品に備える複数個の機能エレメントからなる機能デバイスと実質的に同じ機能デバイスを同じ位置に配置しており、かつ、前記検査用多層基板は、その一方主面上に、前記機能デバイスの特性を測定するのに必要なすべての測定用パッドを位置させている、多層集合基板。

IPC (2件)：

H05K 3/46 , H05K 1/02

FI (4件)：

H05K 3/46 Q , H05K 3/46 W , H05K 3/46 X , H05K 1/02 G

Fターム (44件)：

5E338AA03 , 5E338AA16 , 5E338AA18 , 5E338BB31 , 5E338BB42 , 5E338BB45 , 5E338BB65 , 5E338BB75 , 5E338CC01 , 5E338CC02 , 5E338CC06 , 5E338CC10 , 5E338CD40 , 5E338EE32 , 5E346AA05 , 5E346AA06 , 5E346AA12 , 5E346AA15 , 5E346AA22 , 5E346AA29 , 5E346AA32 , 5E346AA43 , 5E346AA55 , 5E346AA60 , 5E346BB01 , 5E346BB16 , 5E346CC02 , 5E346CC08 , 5E346CC16 , 5E346CC21 , 5E346CC60 , 5E346DD02 , 5E346DD07 , 5E346DD34 , 5E346EE01 , 5E346EE06 , 5E346EE07 , 5E346EE24 , 5E346FF01 , 5E346GG08 , 5E346GG15 , 5E346GG31 , 5E346GG34 , 5E346HH32

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