特許

J-GLOBAL ID：200903029990618210

半田接合部の検査装置

発明者： 石亀 徹 ,  大町 敏彦
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-364274
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183306
出願日： 1999年12月22日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】 周方向の輝度変動を抑えることができるとともに、急斜面に対する照射光量を増加させることができる半田接合部の検査装置を提供する。【解決手段】 リングライトガイド411内の光ファイバ412から発光された光は、平滑板43に入光し、平滑板43内で乱反射しながら長さ方向に進む。その結果、周方向の輝度分布が平滑化され、周方向の輝度変動が小さくなる。反斜面(1次反斜面)431で反射した光は、一部が外界に出射し、残りが1次拡散面421に照射される。光路Cから照射された光は、プリント基板(2次反射面)1で反射し、この反射光は傾斜角γの斜面で鉛直上方に反射する。その結果、半田接合部11の急斜面(傾斜角γ)に対する照射光量が増加し、2次反射の作用によって急斜面が明るくなる。また、カメラ5によって撮像される画像が全体的に明るくなり、コントラストが増して見やすくなる。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された半田接合部の形状を検査する半田接合部の検査装置であって、光を発光する発光手段と、前記発光手段が発光した光の輝度を均一化させる均一化手段と、前記均一化手段が均一化した光を前記半田接合部に照射する照射手段と、前記照射手段が照射した光のうち前記半田接合部で反射する反射光を受光する受光手段と、前記受光手段が受光した反射光に基づいて、この反射光の反射位置における前記半田接合部の傾斜角度を検出する検出手段と、を含む半田接合部の検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/956 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/24

FI (3件)：

G01N 21/956 B ,  G01B 11/00 B ,  G01B 11/24 A

Fターム (36件)：

2F065AA15 ,  2F065AA31 ,  2F065AA49 ,  2F065AA51 ,  2F065BB05 ,  2F065CC01 ,  2F065CC26 ,  2F065CC28 ,  2F065DD09 ,  2F065EE04 ,  2F065FF42 ,  2F065GG02 ,  2F065GG17 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL02 ,  2F065LL49 ,  2F065NN02 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ24 ,  2F065TT02 ,  2G051AA65 ,  2G051AB14 ,  2G051BB02 ,  2G051BB17 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA07 ,  2G051EA16