特許
J-GLOBAL ID：200903029997021197
半導体力学量センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩佐 義幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-345743
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194378
出願日： 1992年12月25日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】 加速度センサにおいて、多軸の測定を干渉なしに実現すると共に、電極構造を最適化しデバイスの構造を簡単にする。【構成】 支持部とその周囲に中間可動部13を有し、かつ中間可動部の周囲に周辺可動部12を有している。これら可動部は、トーションバー11で固定されている。可動部は、支持領域14において基板10上に支持され、可動部の周囲には、制御電極15が設けられている。
請求項（抜粋）：
支持領域と、この支持領域の周囲に第1のトーションバーで接続された中間可動部と、この中間可動部に第2のトーションバーで接続された周辺可動部とを有することを特徴とする半導体力学量センサ。
IPC (3件)：
G01P 15/02
, G01P 15/12
, H01L 29/84
